INFICON真空計(jì)寬量程空計(jì)
INFICON 寬量程空計(jì)設(shè)計(jì)緊湊,的準(zhǔn)確度和可靠性,采用的四項(xiàng)物理技術(shù)涵蓋從超高真空到大氣的整個(gè)真空范圍。
INFICON皮拉尼(Pirani)技術(shù)可在中低真空范圍內(nèi)進(jìn)行成本有效的測(cè)量。INFICON 微型電容式膜片技術(shù)可在低真空范圍進(jìn)行精確測(cè)量,而超高和高真空范圍則采用由熱或冷電離技術(shù)。每一種測(cè)量技術(shù)均提供單獨(dú)的傳感器或真空計(jì)組合 互補(bǔ)的測(cè)量技術(shù)確保在整個(gè)真空范圍內(nèi)*的性價(jià)比。
INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG402,測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計(jì)套裝,在低成本、可重復(fù)的工藝過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。*的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、*穩(wěn)定性 和長(zhǎng)使用壽命。
產(chǎn)品特點(diǎn):
測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)
出色的可重復(fù)性,在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%
過(guò)壓檢測(cè)保護(hù),防止燈絲燒毀
兩根長(zhǎng)壽命氧化銥燈絲
發(fā)射電流選擇,降低控制的繁瑣
植入校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的高精準(zhǔn)性,并且易于更換
符合RoHS。
INFICON真空計(jì)寬量程空計(jì)
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