PCE-44-LD是一款小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。
| 技術(shù)參數(shù) | |
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| 電源 |
● AC 208~240V，單相 50/60Hz
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| 紫外燈 |
● 可發(fā)出雙波長的水銀燈 ● 功率：55W ● 發(fā)出光的波長：254nm 和185nm ● 使用壽命：2500 小時(shí)（可更換） ● 照射區(qū)域：100 x 100 mm ● 光照強(qiáng)度：4.6 mw/cm2
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| 腔體 & 樣品臺 |
● 抽拉盒尺寸: 133 x 133x 25mm ● 支架尺寸: 100mmx 100mm x 19 ● 抽屜底座與紫外燈的距離：27mm ● 樣品臺與紫外燈的距離：8mm
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| 應(yīng)用 |
● 去除分子級別的污染物 ● 紫外光固化粘合劑 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蝕 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
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| 環(huán)境要求 |
● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度在5,562英尺以內(nèi) ● 溫度范圍41-104華氏度 ● 大相對濕度80％，大87華氏度，104華氏度線性降至50％相對濕度 ● 主電源波動(dòng)不超過標(biāo)稱電壓的10％ ● 污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb
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| 外形尺寸 |
● 240mm*200mm*152mm
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| 凈重 |
4Kg
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| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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| 免責(zé)聲明 |
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