| 型號(hào) | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 等離子模式 | RIE（DP模式選配） | RIE/DP | |
| 電極構(gòu)造 | 平行平板（固定） | ||
| 高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
| 反應(yīng)室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
| 電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） | ||
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | |
| 真空泵 | 另行選配 | 油泵（約345L/分）標(biāo)配 | 油泵（約500L/分）標(biāo)配 |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) | ||
| 外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
| 重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
| 電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
等離子清洗機(jī)PDC200 210 510雅馬拓
| 參考價(jià) | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱山東東南儀誠實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
- 品 牌
- 型 號(hào)
- 所 在 地濟(jì)南市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時(shí)間2025/1/12 21:47:48
- 訪問次數(shù)65
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等離子清洗機(jī)PDC200 210 510雅馬拓 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：真空泵
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